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クリーンルーム環境分析

クリーンルーム空気中には製品に影響を及ぼすケミカル物質が存在しています。
そのため、クリーンルームの清浄度管理は製造ラインの歩留まり向上に効果的です。
弊社では有機物質・イオン性物質について分析・コンサルティングサービスを提供しております。

主なサービス

装置内清浄度評価

ASML社製半導体露光装置

弊社はASML社製半導体露光装置の日本国内での数少ない認証機関のひとつに選ばれています。
他のメーカーの露光装置についても清浄度評価可能です。

フィルター性能評価

ケミカルフィルター前後の空気を測定し、ケミカルフィルターの除去性能について評価を行ないます。

供給ガス評価(ドライエアー等)

生産工場・クリーンルーム等で用いられる供給ガスには、しばしば思わぬ汚染物質が混入し製品に悪影響を及ぼすことがあります。
そのためユースポイントでの評価が効果的です。

お問い合わせ

株式会社近畿分析センター
http://www.kbc-em.co.jp/contact/#03

東日本事業部

〒211-8666 神奈川県川崎市下沼部1753
電話 044-435-1087


西日本事業部

〒520-0833 滋賀県大津市晴嵐2-9-1
電話 077-534-0651


NECファシリティーズでサービス提供させていただいておりました業務の一部を、当社、関連会社である近畿分析センターへ業務移管を行いました。(2013年4月1日より)
近畿分析センターは、長年にわたり蓄積した化学分析・機器分析の技術を駆使して広く社会に貢献したいという趣旨で設立し、以来環境分析とエレクトロニクス関連の材料分析を 事業の主体としてきた会社であり、当社としてもより専門的なサービスの提供ができるよう強化をはかりました。

今後は、NECファシリティーズと近畿分析センターと相互に協力し合い、サービス提供に努めてまいります。

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