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NECファシリティーズは、半導体関連の極微量分析技術を応用し、部材・クリーンルーム・供給ガスから食品の風味解析まで多様な有機分析に対応します。また、法規制対応の分析にも幅広く対応します。
サービスメニュー
GC／MS分析
半導体分析の微量分析技術を様々な分野へ
当社では長年培った半導体関連の極微量分析の技術を活かし、部材からアウトガス、クリーンルームの雰囲気、精製（供給）ガスの清浄度調整などのガス分析を行っています。食品の風味（臭気）解析、職人技の数値化なども実施しています。
使用する機器
機種：フロンティアラボ社製
マルチショット・パイロライザー
PY3030D付設
日本電子製GC-MS装置
JMS-Q1500GC
機種：フロンティアラボ社製
ダブルショット・パイロライザー
PY2010D付設
日本電子製GC-MS装置
JMS-Q1050GC
機種：GLサイエンス製加熱脱着装置
TMD253H付設
日本電子製GC-MS装置 JMS-K9
感度：0.01μg／㎥（トルエン換算値）
前処理装置
放散分析用加熱チャンバー
実装基板、壁材、ケーブルなどからガスを発生する装置です。立体的な試料の加速試験や時間経過によるガス発生量の推移を確認できます。
最大加熱温度：150℃（試料サイズについては要相談）
分析対象：有機成分・イオン成分
マルチショットパイロライザー
試料 数㎎程度を専用カップ（φ4㎜×高さ8㎜）に採取後、加熱炉にて加熱、発生したガスを分析する装置です。主に樹脂の添加剤、熱分解生成物の測定が可能です。
加熱温度範囲：室温+10℃～1000℃
昇温速度 ：最大600℃／min
接着剤からのアウトガス分析
クリーンルームの雰囲気分析
クリーンルームから検出された有機物質の定性半定量結果（トルエン換算値）
| No. | 物質名 | クリーンルーム （単位:μg／m3） |
|---|---|---|
| 1 | パーフルオロトリブチルアミン | 4.6 |
| 2 | トルエン | 2.2 |
| 3 | ヘキサナール | 1.9 |
| 4 | エチルベンゼン | 3.2 |
| 5 | m,p-キシレン | 3.4 |
| 6 | o-キシレン | 2.4 |
| 7 | ノナン | 2.4 |
| 8 | 環状シロキサン4量体（D4） | 3.8 |
| 9 | デカン | 6.2 |
| 10 | 2,6-ジメチルノナン | 6.8 |
| 11 | ノナナール | 7.2 |
| 12 | ロードセン | 4.8 |
| 13 | ドデカン | 4.8 |
| 14 | トリデカン | 4.8 |
| 15 | 4-メチルトリデカン | 5.6 |
| 16 | 1-テトラデセン | 10 |
| 17 | テトラデカン | 4.6 |
| 18 | ヘキサデカン | 2.0 |
| 総有機物量 | 98 | |
超高純度ガスの清浄度調査
半導体工場などの生産ラインに供給される超高純度ガスの清浄度調査を実施しています。有機成分以外にイオン成分・金属成分も測定可能です。
超高純度ガス 有機成分 測定項目
| 測定項目 | 報告下限值 | |
|---|---|---|
| Refractories（難燃性物質） | Siloxane | 0.002ppbV （ppbv as Toluene） |
| Organic S Compounds | ||
| Phosphates | ||
| Organic Cl,F compounds | ||
| Condensable Organics（凝縮性物質） | ||
| Non-Condensable Organics （非凝縮性物質） | ||
GC／MSを活用した風味の解析
他社製品と自社製品を比較し、香気、香気成分を特定、製品の開発・付加価値向上を支援します。
実装支援
包材臭、腐敗臭、石油臭、殺虫剤臭など、食品や容器から発生する臭いの相談や、食品・家電から発生する臭いの問い合わせが増えています。NECファシリティーズでは、簡易的な実験装置を作成して臭いに関する様々な実験を行います。
臭気測定用バックを用いた実験
TG-DTA,TOF-MS
TG-DTA（熱重量示差熱分析）
有機物、無機物における熱物性を捉えることができるため、品質評価や研究開発など広い範囲の飼料について分析することが可能です。
- 部材評価
高分子（プラスチック）添加物の構造解析 - 固体燃料電池
電解質膜の解析 - 食品
油脂や加工食品の酸化性評価・口どけ・なめらかさの測定
