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受託試験・実験・評価

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ポリマー部材の耐薬品試験

耐薬品試験

使用薬液
No. 薬品名 温度
1 HCI RT~70℃
2 HF RT~100℃
3 HNO3 RT
4 HF/HNO3 RT
5 H3PO4 RT~80℃
6 H2SO4 RT~190℃
7 TMAH RT~80℃
8 SPM(H2SO4/H2O2) RT~260℃
9 SC1 (NH4OH/H2O2/DIW) RT~70℃
10 SC2 (HCI/H2O2/DIW) RT~70℃
11 IPA RT~80℃
12 NH4CH RT~60℃
13 H2O2 RT
14 etc. -
  • ※
    ご希望の薬液濃度にて対応いたします。上記温度範囲を超える場合はご相談ください。

試験項目

ご希望の試験期間に対応いたします。
試験期間（例）：　1日、1週間、2週間、1ヶ月

試験項目 評価方法・装置
重量測定 電子天秤  
寸法測定 ノギス、マイクロメーター
体積測定 アルキメデス法
※寸法制限あり
浸透液着色観察 デジタル撮影
外観・表面観察 デジタル撮影、光学顕微鏡観察

試験の流れ

評価例（観察結果）

試験結果 外観 観察結果
1週間後
2週間後

浸透液着色 観察結果

※上記の試験とは異なります

留意事項

  • 試料寸法は概ね15cm×4cm以下となるようにご用意ください。試料が試験容器に収まらない場合がございます。
  • 同一容器内にて試料のN増しをご希望される場合は、個々の試料を判別するため刻印等によりマーキングしていただきますようお願いいたします。
    （油性ペン等では薬液により消える可能性がありますのでご注意下さい）

セコエッチによるシリコン結晶評価

セコエッチ（SECCOエッチ）とは薬液によりシリコン表面をエッチングする方法であり
結晶欠陥やグレイン（結晶粒界）の顕在化が可能です。

セコエッチの原理

選択エッチング（SECCOエッチ法）

酸化剤によりSiを参加し、HFで酸化物を溶解する。
その際に結晶欠陥部分や歪の存在する領域では酸化剤による酸化速度が完全結晶領域とは異なる。
通常、酸化物となった欠陥部分では溶解が優先して行われるため欠陥部分は凹状となる。

結晶欠陥評価

  • シリコンの結晶欠陥を可視化いたします。
  • Wafer、完成品、プロセス工程品のいずれも対応可能です。
    （別途前処理が必要な場合があります）
  • 薬液条件のカスタマイズにも対応いたします。

液晶の多結晶シリコングレイン評価

TFT液晶における低温ポリシリコンのグレイン（結晶粒界）を可視化いたします。
液晶デバイスの効率的な性能評価をサポートいたします。

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