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受託試験・実験・評価

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半導体分野で培った技術と設備により、研究開発・品質管理をサポート

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こんなお悩みはありませんか？/半導体製造に使用するポリマー部材の耐薬品性を、実際の使用条件に近い環境で評価したい/シリコンウェーハや液晶デバイスの結晶欠陥を可視化し、品質改善や不良解析に活かしたい/自社では設備や技術が不足しており、専門機関に試験・実験・評価をまとめて依頼したい
こんなお悩みはありませんか？/半導体製造に使用するポリマー部材の耐薬品性を、実際の使用条件に近い環境で評価したい/シリコンウェーハや液晶デバイスの結晶欠陥を可視化し、品質改善や不良解析に活かしたい/自社では設備や技術が不足しており、専門機関に試験・実験・評価をまとめて依頼したい

NECファシリティーズは、各種薬液による耐薬品試験やセコエッチによるシリコン結晶評価など、半導体・電子デバイス分野の専門的な受託試験に幅広く対応。試験条件のカスタマイズにも柔軟にお応えします。

サービスメニュー

ポリマー部材の耐薬品試験

使用薬液

No. 薬品名 温度
1 HCI RT~70℃
2 HF RT~100℃
3 HNO3 RT
4 HF／HNO3 RT
5 H3PO4 RT~80℃
6 H2SO4 RT~190℃
7 TMAH RT~80℃
8 SPM（H2SO4／H2O2） RT~260℃
9 SC1（NH4OH／H2O2／DIW） RT~70℃
10 SC2（HCI／H2O2／DIW） RT~70℃
11 IPA RT~80℃
12 NH4CH RT~60℃
13 H2O2 RT
14 etc. -
  • ※
    ご希望の薬液濃度にて対応いたします。上記温度範囲を超える場合はご相談ください。

試験項目

ご希望の試験期間に対応します。
試験期間（例）：1日、1週間、2週間、1ヶ月

試験項目 評価方法・装置
重量測定 電子天秤  
寸法測定 ノギス、マイクロメーター
体積測定 アルキメデス法
※寸法制限あり
浸透液着色観察 デジタル撮影  
外観・表面観察 デジタル撮影、光学顕微鏡観察

試験の流れ

評価例（観察結果）

試験結果 外観　観察結果
1週間後
2週間後

浸透液着色　観察結果

  • ※
    上記の試験とは異なります

留意事項

  • 試料寸法は概ね15cm×4cm以下となるようにご用意ください。試料が試験容器に収まらない場合があります。
  • 同一容器内にて試料のN増しをご希望される場合は、個々の試料を判別するため刻印などによりマーキングしてください。
  • 油性ペン等では薬液により消える可能性がありますのでご注意ください。

セコエッチによるシリコン結晶評価

セコエッチ（SECCOエッチ）とは、薬液によりシリコン表面をエッチングする方法であり、結晶欠陥やグレイン（結晶粒界）の顕在化が可能です。

セコエッチの原理

選択エッチング（SECCOエッチ法）

  • 酸化剤によりSiを酸化し、HFで酸化物を溶解する
  • 結晶欠陥部分や歪の存在する領域では、酸化剤による酸化速度が完全結晶領域とは異なる
  • 通常、酸化物となった欠陥部分では溶解が優先して行われるため欠陥部分は凹状になる

結晶欠陥評価

  • シリコンの結晶欠陥を可視化する
  • Wafer、完成品、プロセス工程品のいずれも対応可能（別途前処理が必要な場合あり）
  • 薬液条件のカスタマイズにも対応可能

液晶の多結晶シリコングレイン評価

  • TFT液晶における低温ポリシリコンのグレイン（結晶粒界）を可視化する
  • 液晶デバイスの効率的な性能評価をサポート