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排気処理
工場の排気処理施設の最適運用をご提案
半導体工場などの排気処理設備の点検、省エネ診断を行っています。その結果をもとに処理能力の不具合の改善、運用効率の向上、コスト削減の施策をご提案いたします。
適用事例
１．半導体工場 排気処理設備 送風機の省エネ診断
インバータを導入したスクラバーでも周波数を固定のまま運用している場合があります。
生産や稼働状況に合わせて適切なパラメータ設定を行うことにより、省エネとコスト削減が実現できる例です。
２．半導体工場 排気処理設備 NOx系スクラバーの圧損削減
NOx系の排ガスの処理に3塔のスクラバーを経由していましたが、稼働状況を確認するとNOx系の排ガスの濃度はそれほど高くなく、前処理塔でNaOHを吹き込んでいるだけでした。
後半２塔の充填剤を撤去することでファンの能力を適正に抑えることで省エネ・コスト削減することが出来ました。
