ケミカル汚染分析・評価サービス

製品不良には様々な原因があります。弊社は、豊富な経験と技術力で原因を解明するとともに、お客様の製品開発や品質保証に対してもサポートさせていただきます。

デバイス表面分析

• ウェーハ表面汚染分析（SWAによる直接分析）
• レチクル・フォトマスク表面汚染分析（SWAによる直接分析）

デバイス表面分析の詳細を見る

製品からのアウトガス分析

• 放散量試験
• エージングによる減衰試験

臭気分析

• 悪臭分析
• においの原因成分分析

Liイオン二次電池分析

• 電池材料不純物分析

クリーンルーム環境分析

• クリーンルームの清浄度評価（完成引渡し等）
• 装置内清浄度評価
• フィルター性能評価
• 供給ガス評価（ドライエアー等）

クリーンルーム環境分析の詳細を見る

生産工程付着異物分析

シックハウス分析

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